"ランニングコストを従来の半分以下に抑えました。 また、特許構造により、水蒸気の処理も可能になりました。"
オイル不使用のスクロール真空ポンプ、 課題であったメンテナンスコストを半分以下に抑えることを実現 しました。 従来１年に１回必要であったメンテナンスが、チップシールの磨耗 を抑えることで、2年半に1回でＯＫ。 インバータ搭載型のため、回転数を制御することで、ランニングコストを抑えることもできます。 また、特許構造により、従来のスクロールポンプでは処理できなかった水蒸気の排気も行えます。 騒音値も従来の1/20に抑えました。
![product_095_nXDS[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/ce2/2000126915/IPROS41756423866084822922.jpeg?w=280&h=280)
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基本情報
【主な特徴】 ●排気速度：100～377 l/m まで4機種 ●特許技術により、チップシールの磨耗を削減 →2年半に1回のチップシール交換（フィールドで可能） →5年に1回のベアリング交換 →チップシールの磨耗粉の軽減 ●スクロールポンプ最高クラスの到達圧力 ●制御機能 →インバータ搭載 →マニュアル制御及びリモート制御 →シリアル制御及びUSBインターフェース
価格帯
納期
用途／実績例
●加速器 ●分析装置 ●半導体製造装置 ●レーザ実験装置 ●電子顕微鏡
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企業情報
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