AP160Mは、低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適です
AP160Mは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置は、特に半導体に使われるようなクリーンガスに対応できるよう、圧力センサや、接ガス部はオールメタルでできております。CV150シリーズは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置には、圧力センサは内蔵されておらず、外付けの圧力センサや流量センサを使うことでセンサ内蔵型とは、異なったファンクションを実現できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○世界最小の圧力コントローラ ○マイコン内蔵によるデジタル制御 ○DC24V単一電源で動作 ○表示設定器からデジタル設定 ○RS485による遠隔操作 ○異常時閉の安全設計 ○緊急遮断信号入力 ○アラーム上下限個別設定 ○圧力センサ内蔵（AP160M) ○アナログ設定信号入力可能 ○高速応答 【ラインナップ】 ○AP160M/CV150シリーズ →半導体用クリーンガス使用可能 ○AP100/AP150シリーズ ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
当社は平成１１年３月株式会社エー・シー・イーとして設立・創業しました。 株式会社エー・シー・イーは、 Advanced Components and Equipmentのイニシャルを社名とし、流体計測・制御技術及びモニタリング技術をベースに、コンポーネント開発とその応用機器の提供を行っていくことを主要業務として事業を開始しました。 その後、ガス分析機器、ガス混合装置、表面処理技術等の開発により、半導体・液晶分野、燃料電池分野、環境分析分野及び一般工業分野等、様々な分野で当社の製品・システムが活躍しております。当社は「創造と挑戦」をモットーに、なおいっそうの努力と技術の向上をはかり、お客様のご期待に添いますように努力してまいります。
