高品質・コンパクトな高真空バルブ
HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々 な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。
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基本情報
コンポーネント：高品質精度ステンレスバルブ、アルミニウム真空バルブ、ハードプロセスバルブ、長方形（矩形）バルブ、アングルバルブ等
価格帯
納期
用途／実績例
<用途> 半導体製造装置、イオン注入装置、CVD装置 真空ポンプ、LED、太陽光パネル、真空チャンバー、研究機器 など
ラインアップ（10）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 11000シリーズ | ステンレスゲートバルブ |
| 21200シリーズ | ステンレスミリオンサイクルゲートバルブ |
| 16000シリーズ | シールド付ゲートバルブ |
| 21700シリーズ | ステンレス3ポジションゲートバルブ |
| 71000シリーズ | ステンレス ハードプロセスゲートバルブ |
| 81000シリーズ | アルミゲートバルブ |
| 83000シリーズ | ALLアルミ ゲートバルブ |
| 28200シリーズ | ステンレス矩形スリットバルブ |
| 88200シリーズ | アルミ矩形スリットバルブ |
| 4000シリーズ | ステンレスアングルバルブ |
企業情報
ナガセテクノエンジニアリング株式会社はNAGASEグループの一員として、エンジニアリング機能を核に国内外のお客様にソリューションの提案と提供を行っております。 NAGASEグループ共通の価値観であるサステナビリティ基本方針をエンジニアリング機能により実現することを目指しています。 これまで培った薬液濃度管理技術、真空低温機器メンテナンス技術、画像処理技術等の一層のレベルUpを図るとともに最新かつユニークな技術を積極的に取入れることで、お客様の課題に取り組み、お客様と共に成長してまいります。