薬液の特性を考慮した管理手法の構築技術と薬液の精製技術
化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成
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基本情報
廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成 薬液を管理運用(Chemical Management System)する事により、デバイス製造プロセスの安定化と共に、化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成しています。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体・液晶パネル業界において、フォトリソグラフィプロセスによるデバイス製造で用いられる薬液を管理運用
ラインアップ（7）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| DDS-21(S) 現像液希釈供給装置 | 現像液の品質安定を確保 |
| DDS-11 現像液濃度管理装置 | 現像液の2つの成分濃度をリアルタイムで自動管理 |
| DMS-II 現像液回収再生装置 | 現像液の成分濃度を一定に再生・供給 |
| DDS-32S 現像液希釈・濃度管理装置 | 現像液の希釈と、現像液の成分濃度管理機能を一体化 |
| DPF 現像液精密濾過装置 | 現像液の再生効率を更に向上させ、再生現像液の品質安定も可能 |
| RMS 剥離液濃度管理装置 | 剥離液の液ライフを延ばし、使用量、廃棄量を削減 |
| SMR シンナー再生装置 | オンサイトで安全にシンナー（有機溶剤）の再生が可能 |
企業情報
ナガセテクノエンジニアリング株式会社はNAGASEグループの一員として、エンジニアリング機能を核に国内外のお客様にソリューションの提案と提供を行っております。 NAGASEグループ共通の価値観であるサステナビリティ基本方針をエンジニアリング機能により実現することを目指しています。 これまで培った薬液濃度管理技術、真空低温機器メンテナンス技術、画像処理技術等の一層のレベルUpを図るとともに最新かつユニークな技術を積極的に取入れることで、お客様の課題に取り組み、お客様と共に成長してまいります。
