ポンプで節電、高真空装置の設置場所を静かで快適な環境に
"ロータリーポンプをコントロールすることにより、消費電力・振動・ 発熱量・音響ノイズを低減させる製品です。 多くの高真空装置では、高真空ポンプの粗引きとしてロータリー ポンプが終夜運転されております。しかし、装置内が高真空に 到達した後では、アウトガスは極少量になります。 このシステムでは、ロータリーポンプと高真空ポンプの間に バッファーチャンバーを入れ、その真空度をモニターすることにより、装置内は高真空に保ちながら、ロータリーポンプを間欠的に 運転・停止させます。"
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基本情報
"＜構成＞ １．ロータリーポンプコントロール装置 ２．真空バッファーチャンバー ３．ケース ４．ピラニゲージ ５．電磁ベローズバルブ ６．接続キット ＜オプション＞ １．バッファーチャンバー形状・容量 ２．フォアライントラップ "
価格帯
納期
用途／実績例
"・XPS、SIMS等表面分析装置のランニングコストの低減 ・SEM、TEM、FIB、STM等顕微鏡の振動の低減"
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企業情報
企業においても、合理化、省力化の波に技術革命が進み、より微細化、より高度化、より多様化が求められています。そのような中で、弊社は常に時代の変化を半歩先取りし若さと汗と能力を結集させ、独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence（素晴らしい自信と信頼感）を素に、Electronics Marketing Corporationとして、社会の発展に貢献したいとの意欲に燃えております
