クリーンルーム用ウエハー収納搬送用ボックス
クリーンルーム内では静電気対策を施していない一般製品は持ち込みません。ホコリや粉塵を寄せ集 める為です。 すなわちクリーンルームで使用する樹脂製品は、静電気対策品を使用します。 本製品は導電性PP樹脂を使用しており、表面抵抗値が108 [Ω]以下と非常に優れています。 また密封性に優れているため蓋を閉めることで完全密閉し、外気から遮断が可能。（6"汎用を除く） すなわちクリーンな状態を保持したままウエハーを搬送する事ができます。 強度も十分考慮されており、様々な環境下で安心して使用ができる製品です。
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基本情報
■導電性カーボンを樹脂に添加し、安定した導電性を実現。 ■表面抵抗値が10の8乗 [Ω]以下と非常に優れています。 ■蓋を閉めることで完全密封が可能です。（6"汎用を除く） ■約10度回してフタを閉じ、ロックが可能。（8"および12"のみ） ■凸と凹が重なり、安定した段積みが可能。(12"を除く)
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
~ 1週間
用途／実績例
●クリーンルームで使用するウエハー搬送用ケースとして。 ●ESD静電気対策が必要なエリアで使用するとき。 ●密封性が必要なプラスチック容器として。
詳細情報
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5インチウエハー用 【仕様】 ・内径： φ128×12mm （外形：176×176×H24mm） ・重量： 170ｇ （フタ込み） 【特徴】 ・６”スリムケースに装着することで５インチウエハーに対応。 ・簡単に装着できます。（６”スリムケース専用）
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6インチウエハー用（スリム） 仕様】 ・内径： φ152×12mm （外形：176×176×H24mm） ・重量： 150ｇ 【特徴】 ・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。 ・５”変換アダプターを使用して５インチウエハーに対応。 ・テープなどにより完全密閉が可能です。 ・安定した段積みが可能です。
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６インチウエハー用（汎用） 【仕様】 ・内径： φ152×30mm（外形：φ165×H40mm） ・重量： 160ｇ 【特徴】 ・軽量な円筒型ケースです。 ・容器のリブ（壁）に開口部があり、ウエハーの出し入れが可能。 ・安定した段積みが可能です。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ８インチウエハー用 | 詳細はタニムラホームページを御確認下さい。 |
| １２インチウエハー用 | 詳細はタニムラホームページを御確認下さい。 |
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
タニムラ クリーン導電性ウエハー用ケース/樹脂容器 MK-WBR
タニムラ クリーンルーム用 ウエハー用無塵紙ケース MK-WBP
タニムラ ウエハー用クリーン合紙（クリーンパック品）MK-WSF/WSE
企業情報
最新技術を駆使して製品の開発を行う商社です。 クリーンルーム用品や静電気帯電防止用品など高品質な製品をご提供いたします。 また安全用品では、フォークリフトやダンプの滑り止め塗料もご提供いたしております。