素早いポンプダウンと膜質の向上にお役に立ちます
素早い冷却、素早い昇温 蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。TELEMARKのクライオチラーシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオチラーです。
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基本情報
TELEMARKクライオチラーシリーズは、 ・クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できます ・ 小さいフットプリント ・ 速いデフロストが可能 ・ デジタル制御 ・ 2系統の並列経路の冷却が可能、完全独立制御
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
真空蒸着装置、スパッタリング装置、スペースチャンバー、電子ビーム溶接装置等
ラインアップ（6）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| クライオチラー1200 | 1,200W, 65,000L/s, 193kg |
| クライオチラー1800 | 1,800W, 100,000L/s, 243kg |
| クライオチラー2400 | 2,700W, 135,000L/s, 243kg |
| クライオチラー3000 | 3,000W, 165,000L/s, 384kg |
| クライオチラー3600 | 3,600W, 200,000L/s, 412kg |
| クライオチラー4800 | 4,800W, 200,000L/s, 449kg |
企業情報
VISTA株式会社は、真空技術、真空市場に長年の経験を有するスタッフにより、極、超高真空に対応した真空計、真空ポンプ等の開発、製造、販売、コンサルティング、技術受託を行う真空技術の専門会社です。市販の真空製品に飽き足らない方は是非ご相談ください。