0.1Pa~200kPaまでの広範囲な圧力測定を1台で測定可能！
ダイアフラムとピラニセンサーを1台のトランスデューサー内に装備し、0.1Pa~200kPa（1mTorr~1500Torr）の広い範囲での圧力測定を1台で可能とする、広範囲測定型の真空度測定器となります。また、最大4つまでのセットポイントの設定を可能とし、広範囲での圧力（真空度）計測が必要でありながら、複数種の圧力接点を使用する工程への導入に非常に効果的です。
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基本情報
・計測範囲は1mTorr～1500Torrの広範囲をカバー ・測定ガス種に関わらず、2～1500Torrの範囲でリニア計測が可能 ・測定単位は、0.001～2000 mbarと0.1 Pa～200kPaにも変換可能 ・最大4つのセットポイントを設定可能 ・0～2 VDCと0～1.5 VDC出力（標準）に加え、0～10 VDC、4-20 mAアナログ出力も追加可能（オプション仕様モデル）。 ・コンピューターインターフェイスに対応可能な、リニアアナログ出力 ・表示は見やすい大型緑色LEDディスプレイ ・ダイアフラムはシリコン製、ステンレス製から選択可能 ・製品取付けは、パネルマウント、ベンチの両方式から選択可能 ・2～1500Torr計測時の反応速度は400msec以下 ・1～2000mTorr計測時の反応速度は1.25秒以下 ・製品使用に必要なケーブル類、マウント類は全て同梱 ・最大250 Feetまでケーブルの延長が可能
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
※納期に関しましては、弊社までお問い合わせ下さい。
用途／実績例
○広範囲での真空度測定を必要とする、真空機器 ○照明製品製作工程時の、真空度測定への導入 ○L.P.C.V.Dへの導入 ○水晶結晶作成工程時の、真空度測定用機器としての導入
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企業情報
弊社では、米国のリーク試験装置メーカーである「Vacuum Instrument Corporation（VIC）」、及び米国の真空コンポーネントメーカーである「Vacuum Research Corporation（VRC）」両社の日本国内総代理店を勤めさせて頂いております。また、VIC社製品を使用したヘリウムリーク試験システム、エアリーク試験装置の製作、リーク試験のみを行うリーク試験受託サービスも展開させて頂いております。 日本国内のVIC社製ヘリウムリークディテクターのメンテナンス・修理サービスに関しましても、専任のメンテナンスマンを配置しておりますので、弊社にて承らせて頂いております。