半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。
ジェーイーエルの製品総合カタログでは、円筒座標型クリーンロボットをはじめ、水平多関節型クリーンロボット、円筒座標型真空対応クリーンロボット等の各種搬送ロボット製品を多数掲載しております。 ３軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CS」は、スーパークリーンルーム用の製品です。半導体製造装置内、検査装置内のウエハ搬送用に適しています。装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプを選択することができ、動作モニターを装備しています。４軸水平多関節型クリーンロボット「GCR4000-PM」はスーパークリーンルーム用の多軸タイプです。300ｍｍ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しており、全軸アブソリュートエンコーダ付２相ステッピングモータを使用しています。S字加減速制御および動作軌跡最適化により、ウエハを高速・高精度で搬送します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【掲載内容】 ○３軸円筒座標型クリーンロボット ○４軸円筒座標型クリーンロボット ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○２軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒型防水対応クリーンロボット ○４軸円筒型防水対応クリーンロボット ○４軸水平多関節型クリーンロボット ○５軸水平多関節型クリーンロボット ○３軸円筒座標型真空対応クリーンロボット ○４軸円筒座標型真空対応クリーンロボット ○４軸円筒座標型リンク式真空対応クリーンロボット ○５軸水平多関節型真空対応クリーンロボット ○各種光学式アライナ ○300ｍｍ対応エッジグリップアライナ ○342ｍｍサセプタ対応真空アライナ ○ソーターシステム ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○半導体用ウェーハ搬送ロボット、液晶用ガラス基板搬送ロボットとして。 ●詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。