ガラスウェハーを静電チャック！ 優れた導電性能・耐薬品性能・耐熱性能！
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。 《特長》 〇従来の半導体設備で転用可能 〇透明性が高く、フィルムの上から画像認識が可能 〇低アウトガス、低イオンコンタミによりプラズマ工程も安心して使用可能 〇基材・粘着剤が耐熱・耐薬品性を有しているため、ベーキング・薬品洗浄などで使用可能 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
《物性》 ＜品番：STSI-PEN#25＞ ベースフィルム：PEN 使用可能温度180℃以下 表面抵抗率（基材面）：1.3×10^5Ω/□ ※高抵抗計 表面抵抗率（粘着面）：＞1.0×10^13Ω/□ ※高抵抗計 減衰時間：＜0.3sec. ※FTM 101C-4046（23℃×15%RH） 粘着力（対ガラス）：0.18N/25mm ※170° 剥離試験 アウトガス：34μg/g ※170℃, 10min 全光線透過率：75% ※JIS K 7105 ＜STSI-PI#25＞ ベースフィルム：PI 使用可能温度：300℃以下 表面抵抗率（基材面）：1.3×10^5Ω/□ ※高抵抗計 表面抵抗率（粘着面）：＞1.0×10^13Ω/□ ※高抵抗計 減衰時間：＜0.3sec. ※FTM 101C-4046（23℃×15%RH） 粘着力（対ガラス）：0.18N/25mm ※170° 剥離試験 アウトガス：43μg/g ※170℃, 10min 全光線透過率：47% ※JIS K 7105
価格情報
お問い合わせ下さい。
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
※お問い合わせ下さい。
用途／実績例
CVD、スパッタ、プラズマエッチング、ケミカルエッチング、ベーキングなど、様々な半導体製造工程でのウエハ保護用。静電チャック用途
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| STSI-PEN#25 | ベースフィルム：PEN |
| STSI-PI#25 | ベースフィルム：PI |
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
アキレスは、プラスチック加工技術をコア技術として、 日用生活品から先進のエレクトロニクス部品まで、 毎日の生活や産業を支える多彩な製品を世界に送り出しています。
