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急速加熱が可能！ 190℃まで上昇可能な高純度石英バスです。 USL石英スタティックバスは、半導体・エレクトロニクス・液晶（有機EL・無機EL)・化学実験・拡散・エッチング工程などに最適です。 純透明石英(99.99％シリカ)、急速加熱ができ 190℃まで上昇可能な高純度石英バスです。 ウエハーキャリアをまるごと薬品洗浄可能です。 【特徴】 ○安全設計の温度コントローラー ○温度制御が正確 ○温度分布が均一(±0.5℃以内) ○耐熱･耐薬品性が抜群(UL安全規格承認) ○内槽/外装とも耐久性抜群なモールド成形品 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○容器の材質：純透明石英(99.99％シリカ) ○外装の材質：難燃性ポリプロピレン ○温度範囲：30～190℃ ○温度均一：設定温度±1℃以内 ○コードの長さ：3m 【ラインナップ】 ○00V-079-01：ポート数 2 ウエハーサイズ 4 液量 11L ○00V-079-02：ポート数 2 ウエハーサイズ 5 液量 14L ○00V-079-03：ポート数 1 ウエハーサイズ 6 液量 10L ○00V-079-04：ポート数 2 ウエハーサイズ 6 液量 18L ○00V-079-05：ポート数 1 ウエハーサイズ 8 液量 25L ○00V-079-06：ポート数 2 ウエハーサイズ 6 液量 34L ○00V-079-07：ポート数 2 ウエハーサイズ 6 液量 51L ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○拡散行程の前洗浄(RCA洗浄) ○エッチング工程 ○レジスト剥離(硫酸又は溶剤タイプ) ○ガラスマスクの製造並びに洗浄 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
研究開発現場が要求する快適環境に応えられる製品です。 株式会社ユニバーサルは、高度な清浄環境にも対応できるフッ素樹脂製品と高い清浄レベルの要求に応えられるクリーンルーム製品、静電気対策製品をご提供し続けます。
