高精度な光学部品用パターン付きガラス製品のご紹介です。
各種ガラス基板（石英、ソーダライム、白板等）の上にクロム、酸化クロムなどの金属薄膜による高精度なパターンを形成します。 エクアではフォトマスク描画装置によりパターンを直接描画することにより最小1μからの高精度で微細なパターンを形成した製品をご提供しております。 また、フォトマスクを原版とした量産製品にも対応しております。 ガラス基板はダイシング装置により任意のサイズに高い精度で切断され製品となります。 クロスパターン、光学スリットなどの標準的なパターンだけでなく穴あけ加工、金属部品との接着、サンドブラスト加工、多層膜パターンニングなど複合的な加工技術を用いた製品に対応しています。 【グラデーションパターン】 ○放射状に透過率を変化させたパターン ○リニアな透過率の変化 ○正弦波形状に透過率を変化させたパターン ○回転方向に透過率を変化させたパターン 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○金属薄膜による高精度なパターンを形成 ○最小1μからの高精度で微細なパターンを形成した製品を提供 ○フォトマスクを原版とした量産製品にも対応 ○ガラス基板はダイシング装置により任意のサイズに高い精度で切断 ○複合的な加工技術を用いた製品に対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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株式会社エクア製品紹介
企業情報
株式会社エクアの薄膜製品は、高精度描画装置、高度な薄膜形成技術、ガラス加工技術をもとに生み出されております。ステッパー用、アライナー用フォトマスク、その他汎用マスク、エンコーダー、焦点板、解像力チャートなど微細なフォトエッチング製品に小ロットより対応いたしております。
