ピエゾステージの選定に！最高1nmの分解能と優れた応答性！応用例も掲載中
最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組み合わせユニット対応 豊富なラインナップ、応用例を多数掲載中！ 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【掲載製品】 ○ベーシックタイプ PS →豊富なラインナップで幅広い用途に最適 ○開口付きタイプ PK →顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適 ○対物レンズタイプ PF →対物レンズの焦点合わせに最適 ○チルト・回転タイプ PT →アライメントや面合わせに最適 ○精密加工タイプ PU →超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適 ○コントローラ NC →変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動 ○ドライバ PH →電圧を印加してオープンループ制御で駆動 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。