プラズマクリーナー V1000/1000X/1000XS
13.56MHzの高周波電力を印加した プラズマクリーナー 【特徴】 ○RIE・DPの両モードを搭載 ○電極2段式方式を採用し、処理効率がアップ（V1000X） ○プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ○高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
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基本情報
13.56MHzの高周波電力を印加した プラズマクリーナー 【特徴】 ○RIE・DPの両モードを搭載 ○電極2段式方式を採用し、処理効率がアップ（V1000X） ○プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ○高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ○シリコンウエーハのアッシング、エッチング ○基板のデスミア処理 ○IC組み立て、BGA/CSP基板処理 ○エレクトロニクス関連部品電子材料のドライクリーニング ○自然酸化膜・有機物の除去 ○界面活性処理 ○表面汚染物の除去
企業情報
ヤマト科学グループは、「研究開発・生産技術の"革新"を支援し、人類に幸福をもたらす科学技術の進歩・発展に貢献する」ことを経営理念とし、その理念の下で事業活動を展開することで、信頼の「Yamatoブランド」の形成に努めてまいりました。 私たちヤマト科学グループの役員及び従業員は、1889年の創業以来培ってきた信頼の「Yamatoブランド」に責任と誇りを持ちながら科学技術創造立国を標榜する我が国の、各企業や国公私立の研究機関・大学における、先端的な研究開発及び生産技術の革新をサポートするため、その社会的責任と公共的使命を自覚し、本「企業行動指針」にもとづいた行動を実践することで、お客様から一層の信頼、評価を得る事を目指してまいります。
