マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能です。
カスタムホット・クールプローバステージ「PN-121-C型」は、ウエハ、ガラス基板、フィルムなどMSAのホットチャック（PHシリーズ）との組合せにより、高温(+400℃）~低温(-40℃）までの温度試験・評価が可能です。 カスタム対応品ですので、プローブカード、マニュピレータなどとの組合せができ、OEMにも対応いたします。 BESTな評価システムを製作いたします。 【特徴】 ○カスタムプローバステージ ○デバイス、オンウエハ 評価システムの構築が可能 ○装置メーカ様OEM対応品 ○マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能 ○PH201-400は、最高温度400℃、6インチウエハ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○プローブ形式：プローブカード、マニュピレータ各種 ○搭載サイズ：ウエハ 6”以下、基板 □150mm ○ステージ温度制御：オプション-40~+200,室温~+200℃,室温~+400℃ ○移動分解能：0.01mm ○除振台：オプション ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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