プラズマ、サーマル両方のALD成膜が可能です。
ハイテックシステムズは、ALD（Atomic Layer Deposition）装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の販売代理店です。 Veeco/CNT社は米国Veeco社のALD（Atomic Layer Deposition）事業部門で 先端のALD（原子層堆積）技術開発を行い、世界の研究機関、大学、企業にて最も使われている開発用、量産試作用、ALD装置のメーカーです。量産用ALD装置、大面積基板ALD装置についても市場にて実績があり、ご要望に対応しております。
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基本情報
ALD原子層堆積装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の製品と技術導入をハイテックシステムズがサポートします！ ●高性能 プラズマ、サーマル両方のALD成膜が可能 ALD成膜専用に開発されたチャンバー、また排気機構を改善 チャンバーターボポンプ、ALD Vapor Trapを標準にて装備 ●使いやすい ロードロック機構、オゾン発生器、グローブボックス接続など多くのオプション LavVIEWを使用した操作システム、 操作画面を改良、分かりやすい操作システム 標準的レシピの提供 成膜の種類が拡大 本ALD装置の詳細については、お気軽にご相談下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
ALD装置は、欠陥が無く優れた保護特性を備えた薄膜を形成する技術として半導体、フラットパネルディスプレイ（FPD）、MEMS、照明、医療など幅広い分野に貢献します。
カタログ（2）
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企業情報
弊社ホームページでFPD・半導体関連の中古設備情報を掲載しています。 ●主な業務内容 半導体製造装置の中古買取、リファビッシュ(再生)、販売、立上業務 半導体製造ラインの構築及びコンサルタント FPD製造装置の中古買取、リファビッシュ（再生)、販売、立上業務 FPD製造ラインの構築及びコンサルタント 半導体製造設備及びFPD製造設備の受託開発・製造・販売 各種装置部品の販売 海外製製造装置の代理店販売