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scia Mill

最終更新日:2022年12月28日

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イオンビームミリング装置

独scia Systems GmbH(スキアシステムズ社)は、独Roth&Rau AG, MicroSystems GmbHのイオンビームトリミング(トリミング加工、IBF)装置IonScan装置のソフトウエア、ハードウエハを開発した主要なスタッフにて設立されました。スキアシステムズ社はユニークで且つ独自の最先端のイオンビームやプラズマ技術を開発し、研究開発装置から量産向け装置を取り扱っております。

    その他加工機械
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イオンビームミリング装置

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  • 関連リンク - https://www.hightec-sys.com/mems/scia.html

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基本情報

●特徴         スキアシステムズ社製ECRイオンビームMW218-eを使用し、物理・化学反応イオンビームエッチングプロセスに対応したミリング装置です。 ●アプリケーション 微細加工装置として、薄膜磁気ヘッド、センサー、MRAM, イオンビームスムージング等のさまざまな用途に最適な装置をご提案致します。 本装置の詳細については、お気軽にご相談下さい。

価格情報

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用途/実績例

独scia Systems GmbH(スキアシステムズ社)は、独Roth&Rau AG, MicroSystems GmbHのイオンビームトリミング(トリミング加工、IBF)装置IonScan装置のソフトウエア、ハードウエハを開発した主要なスタッフにて設立されました。スキアシステムズ社はユニークで且つ独自の最先端のイオンビームやプラズマ技術を開発し、研究開発装置から量産向け装置を取り扱っております。

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