R＆D向けウェブコーターです。PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。
研究開発向けのロールコーター（ウェブコーター）です。 PET等のフィルムにスパッタリング成膜します。 巻上げトルクはフィードバック制御で細かく設定が可能です。 搬送距離をモニターし、自動運転・自動停止ができます。 ガスは複数導入可能、フィルム幅は600mmまで対応します。 ターゲットの交換も簡単にできる設計です。 詳細はお気軽にお問合せ下さい。
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基本情報
【到達圧力】 ・10－5Ｐａオーダー 【基材収容サイズ】 500mm巾×200m（100μmの場合） 最大外径φ250 【送り速度】 0.01～10ｍ/min 程度（CW、CCW可能）最低設定速度0.01m/min 【テンションコントロール】 巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける。 トルクはフィードバック制御にて行う。 10N～150N/m 巾に対する値を自動計算し、設定。 【真空槽系】 材質：SUS304 サイズ：W700×H1030×D800前面開閉扉 【基材送り機構】 回転送度可変用サーボモーター 巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター 真空シール回転導入部（磁気シール式） 【排気系】 ターボ分子ポンプ 2400Ｌ／sec（N2） ロータリーポンプ 1200Ｌ／min 【ガス導入系】 マスフローコントローラー 0₂、Ar、N₂ 【操作】 操作、設定はタッチパネルで行う 【装置寸法】 専有面積 約5000W×5000D×2000H
価格帯
納期
用途／実績例
研究用装置として納入実績有
企業情報
弊社は1972年に「富士鉄工所」として創業し、当初は金属の加工を中心に活動して参りました。 1999年には名称を「富士アールアンドディー」に改め、日々刻々と変化する経済環境の中で、私共も少しずつ事業内容を拡げていきました。現在では真空技術を駆使した成膜装置等を中心に、装置の設計から組立、電装に至るまで一貫して社内で製造する事で、お客様へ付加価値を提供しております。企業様、大学様の開発・研究機関等への納品実績も多く、おかげさまで好評頂いております。今後も、従業員一同、妥協のない仕事を心がけ、質の高い製品を通じて、社会貢献していきたいと考えております。
