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超薄型XYθ(アライメント)ステージ「NAF3Cシリーズ」

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最終更新日:2024年10月03日

ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場
ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場
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電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ      ~ ダブルスライド構造の採用で高剛性 ~ ※CAD図サンプル有

超薄型XYθ(アライメント)ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒3軸のアクチュエータを同一平面上に配置することで高さを抑制 ○高精度な位置決め  ⇒ 非積層方式の為、積み重ねによる組付け誤差無 ○高剛性  ⇒ ダブルスライド構造により荷重を全体で受けおり、スラスト方向に   対し剛性が高い構造です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

    金属軸受・ベアリング
01_xysita.jpg

超薄型XYθ(アライメント)ステージ「NAF3Cシリーズ」

01_xysita.jpg
01_xysita.jpg
  • 関連リンク - http://www.hephaist.co.jp/products/system_ali.html

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基本情報

NAF3シリーズは、UVWの3軸アクチュエータと予圧型ダブルスライド・ユニットにて構成されています。薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。 【ラインナップ】 ○NAF3C-10-00 ○NAF3C-16K00P/S ※短納期対応可 ○NAF3C-20K01P/S  ※短納期対応可 ○NAF3C-30K00P/S ○NAF3C-40K00P/S  ※P:ステッピングモータ、S:サーボモータの2つの仕様からお選び頂けます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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用途/実績例

【用途】 ○高速ステージ搬送 ○天吊使用 【実績例】 ○ パネル貼り合せ  ○ 露光機  ○ガラスなどの重ね合せ ○ 印刷機 など数多くの用途で使用実績有り ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

ラインアップ(5)

型番 概要
NAF3C-10-00
NAF3C-16K00P/S P:ステッピングモータ、S:サーボモータ
NAF3C-20K01P/S P:ステッピングモータ、S:サーボモータ
NAF3C-30K00P/S P:ステッピングモータ、S:サーボモータ
NAF3C-40K00P/S P:ステッピングモータ、S:サーボモータ

カタログ(2)

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超薄型XYθ(アライメント)ステージ「NAF3シリーズ」

超薄型XYθ(アライメント)ステージ「NAF3シリーズ」

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アライメントステージ導入ハンドブック

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CADデータ(4)

型番 概要 ファイル
NAF3C-16K
  • 2D dxf ( 0B)
NAF3C-40
  • 2D dxf ( 0B)
NAF3C-30
  • 2D dxf ( 0B)
NAF3C-20
  • 2D dxf ( 0B)

企業情報

ヒーハイスト株式会社

ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場

機械要素・部品

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ヒーハイスト精工は、価値を創造する個性ある集団として、創業以来約半世紀に亘る固有技術と独自性を生かして“価値の創造”に努め、新しい時代の要求にお応えしてまいります。

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