複数の基材へのフォトリソコート液の薄膜ディップコーティング装置
本装置は、複数の3.5inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティングを目的とした、DIP/乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を応用したディップコーターです。
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基本情報
【主仕様】 1ストローク290mm 2対象サイズ3.5inchウエハー 3対象材質ウエハー、金属、ガラス等 4ディップ速度0.1mm/secから60mm/sec 5塗布液循環部有 6塗布液温度管理無 7フィルターメッシュ有 8乾燥部有 9乾燥温度100℃ 10ヘパユニット有 11装置サイズ(概寸)W:1800×D:1100×H:1850mm
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
複数の3.5inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティング。
カタログ（4）
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企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!
