離型剤塗布装置(ナノインコーター)の最新版
本装置は、複数のガラス製ナノインモールドを同時に離型剤塗布、リンス等を行える装置です。2槽の循環機構付きタンクがあり、自動運転でさまざまな工程パターンでの制御を可能としました。
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基本情報
【主仕様】 1.ストローク: 138mm 2.対象サイズ: W70×H70mm t1.5 3.対象材質: ガラス等 4.ディップ速度: 0.1mm/secから30mm/sec 5.塗布液循環部:有 6.塗布液温度管理 : 無 7.フィルターメッシュ: 有 8.乾燥部: 無 9.乾燥温度: 無 10.ヘパユニット: 有 11.装置サイズ(概寸): W:450×D:440×H:1000mm
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途/実績例
本装置は、複数のガラス製ナノインモールドを同時に離型剤塗布、リンス等を行える装置です。2槽の循環機構付きタンクがあり、自動運転でさまざまな工程パターンでの制御を可能としました。
ラインアップ(1)
型番 | 概要 |
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NIC-1106 | 本装置は、4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 |
カタログ(7)
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