改良を重ねたオールマイティーな小型均一・平行光の露光用光源です。
UVEシリーズは、超高圧水銀ランプ250W～2000Wまで高性能インテグレーターを使用し、コリメーターレンズを通してワーク面にUV光を均一照射させることができます。 多種の照射径ユニットを取り揃えております。（100～400ｍ/ｍΦ） ※その他大面積はご相談下さい。 また、各種フィルター等もご要望によりご提案致します。 用途として、半導体ウェハ、水晶発振子等の電子部品の露光、マスクアライナー用光源、各種光学、露光実験装置として幅広く利用して頂いております。 【特徴】 ○ハィパワー・コンパクト化を実現した独自の光学設計 ○高安定・長寿命・オゾンレスランプ使用 ○用途に応じた照射波長域の選択が可能 ○自動化ラインに対応する豊富なリモート機能 ○万全なノイズ防止対策 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○オールマイティーな小型均一・平行露光光源装置 ○ランプアークモニター搭載 →ランプ交換時に簡易的に光軸の調整が行える ○90°ごとに照射ヘッドが可変可能 →目的・用途に合わせて照射角度が変えられる ○ハィパワー・コンパクト化を実現 ○高安定・長寿命・オゾンレスランプ使用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 [UV 接着用途] ○液晶ガラスの張り合わせ封止等 ○CD、DVDドライブの光ピックアップレンズや電子製品の接着 [フォトレジスト用途] ○各種マイクロデバイス(IC､水晶振動子､リードフレーム)のパターン露光 ○その他：シリコンウェハー用露光光源、各種光学実験用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
（株）三永電機製作所は、1964年の創業より一貫して自社での「設計･製造」に拘り、国内外のお客様に『光』に関わる製品を提供させて頂いております。 疑似太陽光照射（ソーラシミュレータ）、露光機、紫外線照射、赤外線照射（光加熱）、平行光照射、長距離照射（サーチライト）等様々な実績を持っております。 海外にも納入実績が多数あり、納入先には操作指導やメンテナンスも行っております。 お客様からのご相談やご要望をお待ちしております。
