いままで必要でも無かったウエハー・ディスク・基板用ホルダーを開発しました。
ウエハーと接触する保持部は、フッ素樹脂PTFE製で耐薬品性・耐熱性に優れ基板に傷をつける恐れもありません。 USLウエハーホルダーは、ウエハー・マスクウエハー・ディスク・丸型基板・角型基板、サイズも小型から大型用と様々なタイプがあります。
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基本情報
ウエハー・基板の円周部で保持する縦置用タイプです。 円周部４点で支え基板に余分な力が加わりません。 コード番号：002-1003-01（適用基板サイズ3.0”φ） 002-1003-02（適用基板サイズ5.0”φ） 002-1003-03（適用基板サイズ8.0”φ） 他サイズ用はお問合せください。
価格帯
納期
~ 1週間
用途／実績例
ウエハー・マスクウエハー・ディスク・丸型基板・角型基板などの取出し・移動・差替・検査などいろいろな用途にご使用できます。
カタログ（1）
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企業情報
研究開発現場が要求する快適環境に応えられる製品です。 株式会社ユニバーサルは、高度な清浄環境にも対応できるフッ素樹脂製品と高い清浄レベルの要求に応えられるクリーンルーム製品、静電気対策製品をご提供し続けます。