いままで必要でも無かったウエハー・ディスク・基板用ホルダーを開発しました。
ウエハーと接触する保持部は、フッ素樹脂PTFE製で耐薬品性・耐熱性に優れ基板に傷をつける恐れもありません。 USLウエハーホルダーは、ウエハー・マスクウエハー・ディスク・丸型基板・角型基板、サイズも小型から大型用と様々なタイプがあります。
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基本情報
大型基板、平面置専用のホルダーで３点支持です。 スライド式の長さ調節で各基板サイズに合わせることが可能です。 深型ケースなどに、基板を入れる場合に適しています。 コード番号：002-1005-01（適用基板サイズ幅100～152ｍｍ） 002-1005-02（適用基板サイズ幅190～300ｍｍ） 002-1005-03（適用基板サイズ100～152φ） 002-1005-04（適用基板サイズ190～300φ） 他サイズ用はお問合せください。
価格帯
納期
~ 1週間
用途／実績例
ウエハー・マスクウエハー・ディスク・丸型基板・角型基板などの取出し・移動・差替・検査などいろいろな用途にご使用できます。
カタログ（1）
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企業情報
研究開発現場が要求する快適環境に応えられる製品です。 株式会社ユニバーサルは、高度な清浄環境にも対応できるフッ素樹脂製品と高い清浄レベルの要求に応えられるクリーンルーム製品、静電気対策製品をご提供し続けます。