誰でも使える簡単操作の卓上型コーティング装置
卓上型コーティング装置「Q plusシリーズ」は、設定した条件をタッチパネルから選択するだけの操作で誰でも簡単にさまざまな試料にコーティングが可能です。 レシピの作成も簡単なフルオートのスパッターコーターは、チャンバーサイズが150mmと300mmの２サイズあり、その高さも標準の127mmとロングの214mmがあり、大きなサンプルへのコーティングができます。
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基本情報
タッチパネル操作のフルオート多目的成膜装置です。 インサートを交換することでスパッタリング、カーボン蒸着（ロッド・ファイバー）、グロー放電と多目的に使用可能なハイブリッドモデルもございます。 多くの研究室で導入されている多目的成膜装置は操作が非常に簡単です。ターボ分子ポンプ内蔵の高真空モデルと、ロータリーポンプのみの低真空モデルから選択できます。
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
SEM観察用の導電性コーティング、FIB用の保護膜作成、半導体、自動車、大学の共用機材など
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| Q150 | φ150mmチャンバー、ターボ分子ポンプタイプ、ロータリーポンプタイプがあります。 |
| Q300 | チャンバーサイズ φ300、 二元タイプと一元で３ターゲットタイプがあります。 ロングチャンバーもあるので大きなサンプルへのコーティングも簡単です。 |
カタログ（1）
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企業情報
国内、海外のネットワークを通じて、近赤外線・遠赤外線カメラ、マシンビジョンおよび交通監視用・組み込み用エンベディッドカメラ、画像入力ボード、研究・非破壊検査用のX線フラットパネル、電子顕微鏡周辺装置として真空下でコンタミの予防・除去が可能なプラズマアッシング装置、含水試料などを容易にイメージングする為のSEM/FIB用クライオ装置、マイクロマニピュレーター、ピエゾ位置決め装置など、工業用／サイエンス用問わず、用途目的に合わせパーツからシステムに至るまでお客様にご満足いただける製品を提供しています。
