小型化する装置に対応すべく超小型RF電源、整合器の設計・開発を行っております
出力 5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) 周波数 13.56MHz～27.12MHz 周波数13.56MHｚ～27.12MHｚの任意の周波数 定格出力5W～100W 入力AC100V 1Φ もしくはDC入力 冷却方式強制冷却 外形寸法参考外形 W140×D180×H110mm
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基本情報
出力 5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) 周波数 13.56MHz～27.12MHz 周波数13.56MHｚ～27.12MHｚの任意の周波数 定格出力5W～100W 入力AC100V 1Φ もしくはDC入力 冷却方式強制冷却 外形寸法参考外形 W140×D180×H110mm
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置メーカー等
企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。