1台で、2～4周波/広帯域の整合が可能な自動整合器です
型式 NM1A13-54M-XX 周波数 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz 54.24MHz 通過電力 1kW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 却 水冷/空冷併用 整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O 0～10.0V 外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net 電 源 AC84V～220V/DC24V（80VA)
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基本情報
型式 NM1A13-54M-XX 周波数 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz 54.24MHz 通過電力 1kW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 却 水冷/空冷併用 整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O 0～10.0V 外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net 電 源 AC84V～220V/DC24V（80VA)
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置、等
企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。