メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】
YMV シリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせるための架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4 種類の架台ユニットを用意しました。 ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。 【ラインナップ】 ○YMV-01A ○YMV-03A ○YMV-06A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○豊富なラインアップ →排気量に合わせたポンプ選定ができるよう、 4種類の架台ユニットを用意した ○優れたメンテナンス性 →メカニカルブースターポンプ／油回転真空ポンプの架台が独立して いるため、油回転真空ポンプだけメンテナンスを行う場合は、 装置側のメイン配管を取り外す必要もなく、作業が容易に行える ○豊富なオプション →オイルミストトラップや大気圧駆動型（インバータ）・ 制御盤・遅延真空電磁弁・冷却水フロースイッチなどが選定できる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
【用途】 ○蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング ○真空包装、真空吸着、真空成形 ○真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉 ○真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気 ○ガス置換、充填、真空断熱、リークテスト装置ほか ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。