チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。【アルバック／ULVAC】
チタンゲッタポンプ（GGT-3、PGT シリーズ）は、チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガス（H2、N2、O2、H2O、CO、CO2）を吸着排気します。チタンの活性金属表面は、不活性ガス（He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス）に対しては吸着能力を持たないので、ターボ分子ポンプやスパッタイオンポンプなどと組み合わせて使用します。 【特徴】 ○システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、 大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○T接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（UFC）で、 最高250℃までのベークアウトが可能 ○構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○排気速度の設計が自由で到達圧力が向上 →システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、 大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○長寿命フィラメント →チタン合金フィラメントは、1本当たり定格連続運転 （30秒通電／ 60 秒休止）で約75 時間、連続通電で約25 時間と長寿命 ○ハードベークに対応 →接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（UFC）で、 最高250℃までのベークアウトが可能 ○UHV対応 →構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されている ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○超高真空の排気系 ○各種成膜装置（蒸着・スパッタリングなど）において、 高真空ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして ○各種実験・研究用装置において、 高真空ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
