圧力基準はゲージ圧対応で、大気圧を精度よく測定可能【アルバック／ULVAC】
G-TRANシリーズ SAU圧力センサユニットは、大気圧近傍（ゲージ圧：-100kPa ～ 10kPa）を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。 高真空下での連続運転にも対応可能となり、また内表面の材質は、耐食性に富んだSUS316Lを採用しております。 【仕様】 ○圧力基準 ゲージ圧 ○測定圧力範囲 -100 ～ 10kPa（ゲージ圧） ○測定精度 ±3％ F.S. ○温度特性 ZERO ±0.2％ F.S./℃ SPAN ±0.1％ F.S./℃ ○繰り返し性 ±2％ F.S. 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○大気圧の確認に最適 →圧力基準はゲージ圧対応で、大気圧を精度よく測定可能 ○高真空の連続使用に対応 →半導体型薄膜素子（SUS317L）を採用し、高真空連続使用に対応可能 ○測定値出力信号 →圧力は、DC 0～6VのLog出力が標準装備 ○駆動電源 →幅広くDC12～25Vに対応 ○クイックカップリング対応 →取り合いポートは、NW17を採用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする 各種高真空装置の大気圧確認用に ○真空炉をはじめとする各種産業用真空装置の大気圧確認用に ○ゲージ圧：-100kPa ～ 10kPa（ 絶対圧：10+4 ～ 10+5Pa） 雰囲気を精度よく測定したい真空装置用に ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
