3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計【アルバック／ULVAC】
センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。 【仕様】 ○LED表示 パワー、エラー、セットポイント1/2 ○電源電圧 DC24V±2V, 90mA（Max.） ○入出力コネクタ D-sub-15P（M2.6 screw） ○本体質量 190g（測定子含まず） ○付属品 入出力コネクタ 1式 取扱説明書 1部 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○トランデューサ仕様 →圧力表示器が不要な場合、真空計にかかるコストの低減化 制御盤まわりの省スペース化、省配線化などを実現 ○メンテナンス性 →測定子の交換が容易 ○フィラメント材料：白金（Pt）の採用 →フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用 ○測定子WPシリーズ使用可能 →今までお使いいただいている測定子（WP-01,02,03,16）が そのまま使用可能 ○制御出力信号 →セットポイント2点の出力が可能 ○測定値出力信号 →圧力は0 ～ 5V出力（非線形出力） ○電源電圧 →DC24V入力で作動可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○半導体・電子部品をはじめとする 各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に ○炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に ○インライン式・枚様式のような多くのプロセス室をもつ各種 製造装置の低真空領域のプロセス制御用に ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。