高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバック／ULVAC】
A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴】 ○高スループット ○基板ダメージの低減 ○基板温度の抑制 ○簡易な接続性 ○逆パルス周波数の変更可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○型式：A2KH-25,A2KH-50,A2KH-20K,A2KH-40K ［制御電源入力］ ○入力 →A2KH-25/50：AC90～110V →A2KH-20/40K：AC100～240V ○周波数：単相 50/60Hz ○電力：100VA,120VA,400VA,400VA ○漏洩電流：1mA以下 ［入力仕様］ ○動作電圧：-100～-800V ○動作電流：0～25A,0～50A,0～50A,0～100A ○入力構造：コネクタ接続,端子台もしくはコネクタ接続 ［出力仕様］ ○パルス幅：5μs/10μs内部スイッチで切替,1～18μs 周波数制限有 ○逆パルス電圧：DC電源出力電圧の10‐20％(負荷インピーダンスに依存) ○耐圧：-1500Vdc ○並列運転機能：無し,最大6台まで可能 ○冷却方式：強制空冷 ○適合規格：RoHS指令 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○FPD用反応性スパッタリング装置 ○産業コーティング用反応性スパッタリング装置 ○カラーTFT用反応性スパッタリング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
