吸着しながら加熱・冷却実験が可能！ローコスト化を実現する真空チャック
「ホットバキュームチャック(HoVaC)」は、機能を一体化した上で、ローコスト化を実現します。 ポーラスの作業面全体に対し、一定かつ安定した加熱・冷却を実現しながら、ワークをしっかりと吸着可能。 加熱したままでのウェハーの通電耐久テストに使用できます。 【特徴】 ○加熱冷却の繰り返しで耐久試験などにも最適 ○ポーラスチャックをネジ止めするだけのシンプル構造 ○6、8、12（丸型）、□150、□200、□250角型に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【できること】 ○ポーラス上面温度250℃までの加熱が可能 ○加熱だけでなく冷却（空冷or水冷）も可能 ○吸着したままでの加熱可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○加熱したままでのウェハーの通電耐久テスト ○真空中での半導体製造プロセス ○ウェハーレベルでのボンディング ○熱硬化によるウェハーの張り合せ技術 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
企業情報
お客様との会話を通して"こんなものが欲しい"を形に致します。お客様で図面が作成出来なくてもお客様のアイデアを伺いながら当社スタッフが図面作成も行います。 当社は設計から製造、納品までの一貫体制を整えています。
