清浄流体・薬液・超純水の為の正確な流量測定を!
LEVIFLOW?LFS流量計シリーズは、高純度薬液・超純水等向けに汚染や流体への影響の少ない高精度な流量測定のために設計されています。 特にレビトロニクスの持つ磁気浮上型ベアリングレスポンプとの組み合わせによってシンプルな流体制御を実現させます。 6つ流量レンジを持った機種があり、そのうち2機種は高温用途にも対応しています。
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基本情報
【主な特徴】 汚染の無い非侵襲的測定を可能に。 高精度(1%)と再現性(0.5%) 可動部品がない -無発塵かつ小さな配管抵抗 気泡検知機能 簡単な流量センサのパラメータ設定(PCソフトウェア使用) シングルコンバータとマルチコンバータ(最大6台)のオプション
価格帯
納期
~ 1ヶ月
用途/実績例
用途 〇 半導体製造における高純度液体プロセスの流量測定 〇 CMPスラリーの流量測定 〇 めっき液の流量測定測定 〇 医薬品製造における?滅菌かつ非侵襲的な流量測定 〇 Levitronixベアリングレスポンプとの組み合わせで高精度の流量制御システム
カタログ(8)
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レビトロニクスは、世界的な磁気浮上ベアリングレスモータ技術分野のリーダーで、医療分野における血液ポンプならびにエレクトロニクス産業(半導体・液晶・太陽電池)、ライフサイエンスおよび産業界の用途に超清浄流体移送やスラリー分を含む研磨剤移送のソリューションを提供しています。 特許技術により、モータと磁気軸受を単一のユニットの製品にしているので、コンパクトで高い信頼性、長寿命と厳しい環境でのクリーンな流体やスラリーを含んだ流体の移送に能力を発揮します。 レビトロニクスは、汚染の無い流体移送、混合又は流量制御を長期間にわたり要求される用途に理想的な解決策を提供します。 レビトロニクスの本社は、スイス連邦チューリッヒにあり、アメリカ、台湾に事務所を持ち各地域のサポートを行っています。