目的に応じた分析条件で測定します
SIMSでは複数元素を同時に測定することが可能ですが、着目元素を絞ることで高感度測定やバックグラウンドレベル（BGL）を下げた測定が可能です。分析目的に合わせて、適切な測定条件を検討します。 市販品SiCパワーMOSFETのドーパント元素であるN,Al,Pの深さ方向濃度分布を複数の分析条件で評価した事例を紹介します。
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MSTは、高度な受託分析サービスを提供する財団法人です。 最先端の「物理的解析」と、AI技術を活用した「高度なデータ解析」を融合させることで、従来の分析の枠を超えた多角的な視点を提供し、お客様の高度なニーズに迅速かつ的確にお応えします。 技術知識を兼ね備えた専門スタッフが、お客様の課題に寄り添い、最適な分析プランをオーダーメイドでご提案いたします。オンラインでの打ち合わせはもちろん、貴社への訪問による対面でのご相談も承っております。 また、ISO9001（品質）およびISO27001（情報セキュリティ）を取得しており、機密性の高いプロジェクトにおいても、確かな技術力と厳格な管理体制のもと、安心してお任せいただける環境を整えています。製品開発の加速から不良原因の究明、特許調査まで、研究開発のあらゆるフェーズにおける課題を、確かな分析技術で解決へと導きます。
