SEM断面観察試料作製、FIB前処理に最適な劈開装置。 狙った箇所の断面を高精度・正確に露出します。
LatticeAx420は一台でマイクロインデント(浅い切込み)から劈開まで行うことが出来、その精度は±10um以内になります(特許申請中) 。 近年では、TSVやバンプの断面観察の前処理用途として注目を集め、僅か5分以内にそのままSEM観察が出来るレベルの断面を出すことや、FIB等の加工時間を大幅に短縮する前処理ツールとしても使用されております。スクライブは行いませんので、ターゲット箇所を損失することもございません。
