TEM･SEM･EPMA 用前処理装置/薄膜･電極膜作製装置としてお使いいただける真空蒸着装置
ラボテック株式会社 の『LA-V5050』は、スタンダード抵抗加熱式真空蒸着装置です。 デスクトップ型低価格ターボ式真空蒸着装置、操作性重視のコンセプト設計製品です。 スピーディーに高真空状態が可能で TEM・SEM・EPMA用の前処理作製が可能です。 また、カートリッジホルダの選択で薄膜デバイス/電極膜作製装置として使用可能です。 【特長】 ■デスクトップ型 ■操作性重視 ■スピーディー ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【オプション】 ■基板回転傾斜ユニット ■ガス導入ユニット MFC/ニードルバルブ ■水晶振動子式膜厚モニタ ■各種カスタマイズ機構対応可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
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企業情報
ラボテック社は1987年設立以来、ESR(電子スピン共鳴装置)用の器具・消耗品・試薬等を販売し、研究開発分野のサポートを微力ながら行って参りました。近年では電子顕微鏡関連周辺機器の販売・開発を行って来ました。ナノテク・バイオ・半導体分野での研究開発に貢献したく真空機器関連(真空蒸着装置・スパッタ装置etc)装置の製品化・販売・サービス業務を行う事で研究分野への『研究の一歩に繋がる製品開発』を理念に信頼・期待される企業となるよう全力を尽くします。