各種熱処理用パーツの加工などに対応！先端産業向けに広く貢献しております。
半導体製造用「CZ装置」は、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、 各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、 先端産業向けに広く貢献しております。 シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイト が使用されています。 【種類】 ○ヒーター（光ファイバー用） ○ルツボ ○サセプター ○ダミーウエハ ○熱処理用治具 ほか 詳しくはお問い合わせ下さい。
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基本情報
【加工部品】 ■シリコン単結晶、多結晶用引揚炉用部品 →ヒーター・坩堝・カーボン断熱材 カーボンフェルト・C/Cコンポジット部品 他各種部品 ■プラズマCVD用部品 【特殊炭素製品ラインナップ】 ○半導体向け ○熱処理用 ○溶解炉用 ○ガラス向け ○冶金向け ○歯科用 ○ホットプレス ○燃料電池向け ○電解用 ○放電加工用 ○調理用 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は３次元CAD/CAMシステムを用い、カーボン業界随一の設計力を誇ります。また難切削材の加工にも積極的に取り組み、他社に無い加工技術を持ち合わせております。 また素材は海外メーカー（米・独・仏）の先端素材を用いてお客様の要望にお答えしております。