医療用途・光学部品に!イニシャル、ランニングコスト低減ができるプラズマCVD装置
『ダイヤモンドライクカーボンの成膜装置』は、熱陰極PIG(ペニング イオンゲージ放電形式)プラズマCVD装置です。 低温かつ高真空での処理を可能とし、硬度と平滑性に優れた DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の形成を実現。 他方式に比べ基板に入射するイオンの量とイオンのエネルギーをそれぞれ 独立して制御できる為、極めて広範囲な膜質の制御が可能です。 また、東製株式会社では、超硬・ステンレス・工具鋼などへのダイヤモンド状 炭素膜の優れた特長を広くご活用いただける表面処理加工も行っております。 【特長】 ■低摩擦係数 ■対摩耗性 ■低攻撃性 ■非溶着性 ■絶縁性 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■製膜方式:PIGプラズマCVD装置 ■装置設置スペース:W4000×D3000×H2700 ■標準処理寸法:φ140×H600×12軸 ■操作方法:全自動制御 ■標準ガス:Ar、H2、C2H2、TMS、O2 ■基板加熱ヒーター:標準装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■摺動部部品 ■切削工具・金型 ■光学部品 ■電気部品 ■医療用途 ■装飾用途 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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これからは、環境を意識しない企業は生きていけないと言われています。 東製は設立以来、 ”NEW FRONTIER TECHNOLGY”(新製品開発) をいつも念頭におき、高いテクノロジーをも意識した優れた製品を提供してお客さまのご愛顧にお応えしてきました。 企業倫理の確立を図りながら、 IDENTITY(個性化) INNOVATION(技術革新) AFTERCARE(アフターサービス) の3つを柱に、 企業の道は”お客様に真の価値を御提供することである”を理念とし、 共にその先の事を考え、共有する事が、社会に貢献出来る道だと信じて 未来へ進みたいと考えています。