ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善！真空引き時間も大幅に短縮できます！！
RICOR社製MicroStarはスターリングクーラー方式の真空補助ポンプです。ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善し真空引き時間も大幅に短縮できます。GMタイプのクライオポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインが必要なく、コンパクトで低消費電力。半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。
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基本情報
ツインピストン型リニア式スターリングクーラー ウォーターベーパーポンプ・スピード：7,000L/S（＠シェラウドISO250）
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用途／実績例
半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプ
企業情報
赤外線に関することでしたらご相談ください。世界の最先端技術をご紹介いたします。黒体炉、分光器、赤外カメラ、CO2モニタ、ウェハ温度モニタなど赤外線機器から赤外センサ、窓、レンズなど赤外部品まで幅広く取り扱い。測定サービス・機器レンタルもあり。赤外線センサーやフィルター、窓材などの光学部品選定について迷ったら是非ご一報下さい。