米国 SCI製ロータリーマグネトロンカソードは、世界に約3000台の納入実績が御座います。
米国・Sputtering Components Inc, 通称SCI社は、米国のミネソタ州オワトナに2001年に設立されました。SCI製ロータリーマグネトロンカソードは、2015年現在までに、世界で約3000台の納入実績を誇ります。その用途は、建築用のLow-Eガラスや、太陽電池、ディスプレイの電極膜、フィルムの反射防止膜等、様々な用途で様々な客先にて使用されています。 弊社株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン、通称SCJは、そのSCI製品と、兄弟会社のPMI製円筒・平面ターゲットの日本販売拠点です。
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基本情報
製造所：米国・スパッタリングコンポーネンツインク （通称ＳＣＩ） 製品：ロータリーマグネトロンカソードとマグネットバー、並びにそれに関連する周辺製品 世界販売実績：約3000台 日本取り扱い拠点：株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
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用途／実績例
建築：ＬｏｗＥガラスや反射防止膜のスパッタ成膜 液晶：電極（透明導電膜）や反射防止膜のスパッタ成膜 タッチパネル：電極（透明導電膜）や反射防止膜のスパッタ成膜 太陽電池：電極（透明導電膜）や反射防止膜のスパッタ成膜 自動車：サイドミラーやバックミラーのスパッタ成膜 装飾：スマートフォンや壁材のカラーリング向けスパッタ成膜
詳細情報
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SMロータリーマグネトロン 搭載方式：サイドマウント搭載 型式：ＳＭ （大型基板用） 対応ターゲット長さ：4000ｍｍまで 投入可能最大パワー： 200ｋＷ ａｔ ＤＣ/ 80ｋＨｚ ａｔ ＭＦＡＣ 完全片持ち：1500ｍｍで140ｋｇ以下まで可能 専用モーター及び専用ベルト：含む 水平・垂直搭載：両方可能 マグネット角度：360度自由に調整可能
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MMロータリーマグネトロン 搭載方式：サイドマウント搭載 型式：ＭＭ （中型基板用） 対応ターゲット長さ：２５００ｍｍまで 投入可能最大パワー： １００ｋＷ ａｔ ＤＣ／ ８０ｋＨｚ ａｔ ＭＦＡＣ 完全片持ち：１０００ｍｍで１４０ｋｇ以下まで可能 専用モーター及び専用ベルト：含む 水平・垂直搭載：両方可能 マグネット角度：３６０度自由に調整可能
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CMロータリーマグネトロン 搭載方式：サイドマウント搭載 型式：ＣＭ （小型基板用） 対応ターゲット長さ：１０００ｍｍまで 投入可能最大パワー： ２０ｋＷ ａｔ ＤＣ／ ８０ｋＨｚ ａｔ ＭＦＡＣ 完全片持ち：７５０ｍｍで４５ｋｇ以下まで可能 専用モーター及び専用ベルト：含む 水平・垂直搭載：両方可能 マグネット角度：３６０度自由に調整可能 特記事項：８０ｍｍ及び１２５ｍｍの内径ターゲットを搭載可能
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SCロータリーマグネトロン 搭載方法：真空内ドロップイン 型式：ＳＣ （大型基板用） エンドブロック幅：２０４ｍｍ 対応ターゲット長さ：４０００ｍｍまで 投入可能最大パワー： ２００ｋＷ ａｔ ＤＣ／ ８０ｋＨｚ ａｔ ＭＦＡＣ ＴＴＳ調整：スペーサーを挟むことにより可能 アウトボードサポートブロック：含む 専用モーター及び専用ベルト：含む 水平・垂直搭載：両方可能 マグネット角度：１５度刻みで調整可能
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MCDロータリーマグネトロン 搭載方法：真空内ドロップイン 型式：MC-D （中型基板用） エンドブロック幅：160ｍｍ 対応ターゲット長さ：2500ｍｍまで 投入可能最大パワー： 100ｋW at DC/ 80kHz at MFAC TTS調整：スペーサーを挟むことにより可能 アウトボードサポートブロック：含む 専用モーター及び専用ベルト：含む 水平・垂直搭載：両方可能 マグネット角度：360度自由調整可
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TCロータリーマグネトロン 搭載方法：真空内ドロップイン 型式：TC （小型基板用） エンドブロック幅：58ｍｍ 対応ターゲット長さ：1500ｍｍまで 投入可能最大パワー： 40ｋW at DC/ 80kHz at MFAC TTS調整：スペーサーにより可能 アウトボードサポートブロック：両持ちタイプ 専用モーター及び専用ベルト：含む 水平・垂直搭載：両方可能 マグネット角度：360度自由に調整可能
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スイングロータリーマグネトロン 型式：Swing Cathode （静止基板用） 対応ターゲット長さ：4000ｍｍまで 投入可能最大パワー： 200ｋW at DC/ 80kHz at MFAC 専用モーター及び専用ベルト：含む 水平・垂直搭載：両方可能 特記事項：内部のマグネットバーが 左右に揺動する。複数本並べる事により、 静止した基板に対し、±１％以下の 分布と、70％以上の利用効率を同時に実現
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QRMマグネットバー 型式：QRMバー （強磁場） 構造：4連 磁力：1,056ガウス at 外径150ｍｍ 磁場調整ネジ：＋2ｍｍ〜－7ｍｍ ネジ位置：約300ｍｍ毎 隣接ネジ許容高低差：最大2ｍｍ 最大使用可能ターゲット：外径180ｍｍ スパッタアングル：±21度 公称分布：±2%以下 公称ターゲット使用効率：85％以上
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RAMマグネットバー 型式：RAMバー （遠隔制御式バー） 磁場調整ネジ稼働範囲：20ｍｍ 調整精度：±50ｕｍ ネジ位置：約300ｍｍ毎 公称分布：±1%以下 at 3ｍ幅基板 特記：チャンバー外部 より、光ファイバーを通じて各ポジションの調整 ネジを制御。それにより、マグネットとターゲッ トの距離を±50ｕｍの精度で調整。スパッタプロセス中にコントロール 可能。究極の分布調整が可能となる。
企業情報
スパッタリング装置に頻繁に用いられる、ロータリーカソードのリーディングカンパニー、米国・Sputtering Components Inc、通称SCI社の、日本販売拠点です。 SCI社の兄弟会社、米国・Process Materials Inc、通称PMI社の円筒型スパッタリングターゲットや平面ターゲットも取り扱っております。 お気軽にお問合せ頂けましたら幸いです。
