超高真空・極低酸素雰囲気に対応！
本製品は、高温、超高真空及び極低酸素雰囲気対応のステンレス製 マイクロチャンバーです。 4組の測定プローブ（深針）は、3軸（X,Y,Z）ステージにより高精度に 位置決めが可能であり、ぺルチェ素子やマイクロヒーターを組込み、 試料の加熱冷却が可能です。 付属ターボ分子ポンプにより到達真空1×10E-6Paの高真空雰囲気が 得られます。 【特長】 ■”リークゼロ”の超高真空（1x10E-6Pa）に対応 ■各種デバイスやセンサー開発に活躍 ■試料の加熱冷却が可能 ■3軸ステージ（X，Y，Z）により高精度な測定プローブの位置決めが可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■チャンバー内到達真空：10-6Pa台（但しTMP直結時） ■リークレート：1×10-10Pa・立方メートル/sec以下 ■チャンバー材質：ステンレス ■測定プローブ：タングステン（先端20μmR、4組） ■プローブ移動距離：X軸±6mm、Y軸±6mm、Z軸±8mm ■電流導入端子：最大16.5A（1組） ■熱電対：Kタイプ（1組） ■寸法：W350×D315×H120 ■重量：約12kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種デバイスやセンサー開発 ■試料の加熱冷却 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
高機能、低コストを計った新型酸素分圧制御装置、高温超電動デバイス、高温固体燃料電池（SOFC）、携帯電話の開発時に必要なアンテナデータ可視化ソフトや燃料電池試験装置の制御システムを開発提供し、企業や大学における研究開発、また国などに提案採択された開発型委託事業に貢献しております。
