高精度コンタクト圧制御！簡易的な光ナノインプリント実験も可能
マイクロコンタクトプリンター『PA400S』は、次世代のデバイス製作手法 として注目を集めるmCP（micro contact printing）法や簡易的な 光ナノインプリント（UV－NIL）法に対応する マイクロコンタクトプリント装置です。 mCP法は急速に展開してきた有機エレクトロニクス分野や バイオ用マイクロ構造体などを、PDMSスタンプによるチオールインク転写 によって製作します。 UV－NIL法では超微細マイクロデバイスを石英モールドおよび 光硬化樹脂によって製作します。 インク補充およびプリントプロセスで独立した2基のステーションは 高精度圧力センサおよびZ軸サーボコントロールでコンタクトスピード、 コンタクト圧力、距離、時間をプログラム制御可能です。 またマスクアライナーとしてもご使用頂けますので各種実験・生産に柔軟に対応します。 【特長】 ■コンタクトスピード・コンタクト圧力をプログラム制御可能 ■距離、時間をプログラム制御可能 ■マスクアイライナーとして使用できる 他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■プリント形式 ・Wステーション方式 ・（プリント／露光ステーションおよびインク補充ステーション） ■アライメント機構 ・XYZO¢（平行）軸、Z軸モータードライブ分解能0.1pm ・ステーション2基は同一仕様 ■Z軸モーション制御 ・スピード・加速・コンタクト圧力・高さ・時間 ・プログラム制御（オートブロック）およびジョグ運転 ■コンタクト圧力範囲：1～100N（理論分解能1N） ■適応試料 ・対応サイズ最大□4インチ ■適応スタンプ ・マスクアライナー時は適応マスク ・サイズ最大□5インチ 厚さ0.06または0.09インチ ■適応スタンプ台 ・サイズ最大□4インチ ■露光方式 ・1：1等倍露光 コンタクト（コンタクト圧調整可）およびプロキシミティ ■露光性能（標準） ・コリメータレンズ方式250Wφ80mm 均一度±15% ・6mW/cm2 at365nm（アップグレード可能） ■アライメント方式 ・双対物CCD＆モニタ観察顕微鏡による目視アライメント ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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