ローコストで手軽にマスク製作！多品種のデバイス開発に最適
『MM605』は1/5縮小露光の研究室向け簡易フォトマスク作製機です。 各種半導体・MEMS微小構造物製作のためには欠かせない フォトマスクは、特に大学・研究所において種類豊富に必要となります。 本装置は研究室レベルで簡単にフォトマスクを作製するための装置で、 お手持ちのグラフィックソフトやCADシステム等でプリントした図面を OHPフイルムにコピーしマスク原版として使用します。 特別に設計された光学系でマスク原版を高精度に1/5縮小投影し、 エマルジョンマスクを作るので、今まで外部委託に頼っていた マスク製作をお手元で手軽に安価で作る事ができます。 【特長】 ■縦型デザインで省スペース ■改変の多い研究に最適 ■マスク製作を手元で安価に製作可能 他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 [縮小レンズ部] ■倍率 ・0.2倍 ■撮像寸法 ・59.4×59.4mm ■視野寸法 ・297×297mm ■物体距離 ・1195.5mm ■物体問屋巨離 ・1455.5mm ■実行F値 ・（像側）5.487 （物側）27.317 ■分解能（入＝550nm） ・（像側）3.017μm （物側）15.024μm ■周辺光量 ・95.19％ ■TV dist ・－0.0263％ ［照明部］ ■蛍光灯 ・15W 5本 ■光調整 ・可 ■光強度 ・（max）1215Lx～（min）749Lx ■光分布 ・1.004％ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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