30年を超え、受託薄膜加工一筋！豊富な経験と確かな技術に培われた加工実績
東邦化研株式会社の表面処理薄膜コーティング受託加工サービスの加工実績を紹介いたします。 単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜（積層膜）と様々な膜種に実績を残しています。 【適用分野】 ■電気・電子部品：電極膜・絶縁膜・表面保護膜・透明導電膜など ■真空装置部品：汚染防止・絶縁膜・ボンディングメタルなど ■航空宇宙関連：軽量化・防蝕・固体潤滑など ■機械部品・金型：耐摩耗性・離型性・防蝕・表面硬化など 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【主な加工実績】 ■コーティング例 ・パターンコーティング ・厚膜コーティング ・樹脂フィルムへのコーティング ・立体物へのコーティング ・大面積へのコーティング ・スパッタリングによるコーティング ・プラズマCVDによるコーティング ・各種メタル膜コーティング ■対応基板 ・セラミックス ・ガラス ・シリコンウェハー ・金属基材（アルミ材、チタン材、ステンレス材 など） ・樹脂材（ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PET など） ■対応膜種 ・金属膜：Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B など ・積層膜：Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr など ・酸化膜：Al2O3、SiO2、SiO、TiO2、Cr2O3、InO2 など ・炭化膜：TiC、SiC、BC など ・窒化膜：TiN、SiN、CrN、BN、AIN など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
弊社ではイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる 機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 発足当初より導電性や絶縁性、耐食性など『機能性薄膜』に重点を置き、 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、 試作・開発・研究などの少量から、中小ロットの生産まで、 幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 現在、Φ３００mmサイズの小型機から １０００mm×９００mmの成膜エリアを持つインライン方式の量産機まで 計11台の成膜装置が稼動しております。 なお、お客様からお預かりした基板の開封から成膜品の梱包までの 全工程をクリーンル―ム内で行っております。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！ 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！ ※HPに展示会出展情報も記載しております。 ぜひご覧ください。
