柔軟な対応と30年の実績！多岐に渡るご要望に応える、高機能受託加工サービス
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング・真空蒸着・P-CVD・スパッタによる、導電性、絶縁性、耐蝕性などの機能性薄膜の受託加工サービスを行っております。 様々な機能性薄膜を、試作から生産まで対応しております。 膜種・膜厚・成膜条件・対応基板(材質、サイズ、形状)への柔軟な対応と、35年の実績をもとに、マスキング成膜やメタルマスクでのパターン形成にも対応いたします。 お気軽にご相談下さい。 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【サービス紹介】 ■膜種 ・金属膜：Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B、Ti、Y、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など ・酸化膜：Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、In2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、Zr3O3、ZnO など ・炭化膜：SiC、TiC、WC、BC など ・窒化膜：AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など ・二元蒸着による合金膜の生成 ・各種積層膜：Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr、SiO2/Al など ■基板材質 ・シリコンウエハ など ・ガラス材：石英、ホウ系酸ガラス など ・セラミックス：サファイヤ材、SiC材、AIN材 など ・金属材：Al材、Ti材、SUS材 など ・樹脂：PET、PEN、PI、PC など ・複合材：レジスト付き基板、パターン形成済み基板 など ※立体物への薄膜形成もお気軽にご相談ください。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
お問い合わせください。
納期
※お問い合わせください。
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（5）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（1）
企業情報
弊社ではイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる 機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 発足当初より導電性や絶縁性、耐食性など『機能性薄膜』に重点を置き、 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、 試作・開発・研究などの少量から、中小ロットの生産まで、 幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 現在、Φ３００mmサイズの小型機から １０００mm×９００mmの成膜エリアを持つインライン方式の量産機まで 計11台の成膜装置が稼動しております。 なお、お客様からお預かりした基板の開封から成膜品の梱包までの 全工程をクリーンル―ム内で行っております。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！ 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！ ※HPに展示会出展情報も記載しております。 ぜひご覧ください。