柔軟な対応と30年の実績！多岐に渡るご要望に応える、高機能受託加工サービス
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング・真空蒸着・P-CVD・スパッタによる、導電性、絶縁性、耐蝕性などの機能性薄膜の受託加工サービスを行っております。 様々な機能性薄膜を、試作から生産まで対応しております。 膜種・膜厚・成膜条件・対応基板(材質、サイズ、形状)への柔軟な対応と、35年の実績をもとに、マスキング成膜やメタルマスクでのパターン形成にも対応いたします。 お気軽にご相談下さい。 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【サービス紹介】 ■膜種 ・金属膜：Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B、Ti、Y、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など ・酸化膜：Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、In2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、Zr3O3、ZnO など ・炭化膜：SiC、TiC、WC、BC など ・窒化膜：AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など ・二元蒸着による合金膜の生成 ・各種積層膜：Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr、SiO2/Al など ■基板材質 ・シリコンウエハ など ・ガラス材：石英、ホウ系酸ガラス など ・セラミックス：サファイヤ材、SiC材、AIN材 など ・金属材：Al材、Ti材、SUS材 など ・樹脂：PET、PEN、PI、PC など ・複合材：レジスト付き基板、パターン形成済み基板 など ※立体物への薄膜形成もお気軽にご相談ください。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
弊社ではイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる 機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 発足当初より導電性や絶縁性、耐食性など『機能性薄膜』に重点を置き、 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、 試作・開発・研究などの少量から、中小ロットの生産まで、 幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 現在、Φ３００mmサイズの小型機から １０００mm×９００mmの成膜エリアを持つインライン方式の量産機まで 計11台の成膜装置が稼動しております。 なお、お客様からお預かりした基板の開封から成膜品の梱包までの 全工程をクリーンル―ム内で行っております。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！ 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！ ※HPに展示会出展情報も記載しております。 ぜひご覧ください。
