酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラー
「精密流量コントロールバルブ」は、高精度、高速で流量制御を行う酸・有機系 薬液などの定量吐出管理用のFuturestar社製液体フローコントローラーです。 流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類より、 ご選択頂けます。 また、液体流量コントローラー単体でも販売しています。(商品名：AutoValve) 【特長】 ■液体流量コントローラと流量計を1つのシステムに統合 ■セットした流量をモニタリングしフィードバック ■高再現性と高信頼性を実現 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【仕様】 ■供給量：B－Series 0－3 L／min M－Series 0－20 L ／min ■使用材料：薬液接触面 PTFE、PFA ■使用環境：最大供給圧 65psi 最大排背圧 30psi ■最高使用薬液温度：65℃ ■入力電圧：12－30VDC ■オプション：オートバルブ用コントローラー ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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納期
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企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。