高温薬液での高流量出力も可能な薬液・超純水用ポンプ
『ベローズポンプ』は、White Knight社製のテフロン製薬液供給ポンプです。 「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの 特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持っており、 各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに最適なポンプを 提供致します。 【特長】 ■低脈動 ■210℃まで対応可能 ■テフロン製ポンプ ■金属、O-リング等一切使用していない ■コンタミ等の発生の心配がない など ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■PXUシリーズ ■PXHシリーズ ■PXAシリーズ ■PSUシリーズ ■PSHシリーズ ■PSAシリーズ ■PSRシリーズ ■PFUシリーズ ■PFHシリーズ ■PFAシリーズ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■洗浄装置、薬液供給装置、CMP装置などあらゆる分野でのスラリー ■酸、有機系の供給 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。