ニーズにお応えする基板異物検査装置
「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK（山梨技術工房）製の、ワーク設置 マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで 難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。 また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品を お預りし、YPIシリーズでサンプル測定も実施しております。 【特長】 ■従来にない高速、高精度、低価格 ■省スペース ■測定時間短縮 など ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【仕様】 ■対応基板サイズ：最大200mm×200mm(200mm以上の場合は要相談) ■スキャン方式：X-Yスキャン／Θ-Xスキャン(螺旋スキャン) ■スループット：□200mmを約4分／Φ200mmを約3分(高速スキャン対応可) ■ワーク設置：マニュアル ■装置外形寸法：W900mm×D1,000mm×H1,757mm ■本体重量：約500kg ■消費電力：約1.5kW(100V) ■検査対象基板：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板、エビ膜付きSiC基板等 ■最小検出感度：石英ガラス基板時、0.2μm ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格帯
納期
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企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。