光電子分光分析装置（ESCA）を使用した多層膜の深さ分析結果を掲載！
当事例集は、イオン注入、成膜・分析、研究・事業化マネジメントの サービスなどを提供している株式会社イオンテクノセンターの光電子 分光分析装置「ESCA」による多層膜の深さ分析の事例集です。 シリコン基板の上にシリコン酸化膜とチタン酸化膜の積層膜をESCA （Quantum-2000）によって分析した結果を掲載しております。 【掲載概要】 ■ESCAによる多層膜の深さ分析の分析結果 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【掲載内容】 ■分析結果 ■スパッタリングサイクル毎のシリコンのスペクトルを表示した図 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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イオンテクノセンターは「イオン注入」「物理分析」および研究開発におけるコンサルティングや技術開発サポートなどを行うプロフェッショナル集団です。 最先端の技術と設備を備えた時代の求める創造的ラボラトリーとして企業や大学研究者の方々の良きパートナーをめざしています。